罗茨泵-真空度不足
工艺参数变化；
前级泵性能衰减，检修前级泵；
管路堵塞，检查入口过滤器，清洗管线；
管路是否泄露，对整个工艺管线进行检漏；
真空泵性能问题，解体检修测试。
罗茨泵-运行电流高
轴承损坏，更换轴承；
出口背压高，检查前级泵；
齿轮磨损，更换齿轮；
前道工艺变化，压力升高;
转子运行卡顿，检查间隙，清洗多余物料。
罗茨泵-润滑油污染
轴承损坏，更换轴承；
排气不畅，检查排气管线；
齿轮油变质，更换齿轮油；
系统夹带物料太多，处理前道；
机封或油封损坏，更换并对真空泵进行保养。
罗茨泵-设备温度高
齿轮油加注太多，排放齿轮油；
冷却系统出现问题，检查冷却水系统；
排气压力太高，前后压差过大，检查排气口；
入口冷却机构失效，进气温度高，检查进气温度。
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